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光刻膠 光刻膠

光刻膠

CAS號(hào) 38891-59-7
規(guī)格 100ml/瓶
純度 請(qǐng)聯(lián)系客服
貨號(hào) SU-8 2005-100
貨期 ---
品牌 中芯啟恒
庫(kù)存 100瓶
注意：請(qǐng)務(wù)必與賣家聯(lián)系核實(shí)單價(jià)庫(kù)存，以確保您的資金安全及交易順利。
參考價(jià)： ￥1.00 元/瓶
貨號(hào) 品牌 純度 規(guī)格 參考價(jià) 貨期
SU-8 2005-100 中芯啟恒 請(qǐng)聯(lián)系客服 100ml/瓶 ￥1.00元/瓶 ---

產(chǎn)品詳情

詳細(xì)信息(中文)：
簡(jiǎn)介：

中芯啟恒SU-8 2000系列光刻膠是負(fù)性光刻膠，采用環(huán)戊酮溶劑配制而成，在厚度膠膜涂布工藝中，圖案化的結(jié)構(gòu)有較好的穩(wěn)定性和高分辨率，其膜厚范圍比任何其他市售光刻膠更廣泛，單次旋涂工藝膠膜厚度可選1-300um范圍，可根據(jù)需要進(jìn)行多次旋涂，從而獲得更厚的膠膜。自2019年推出后，受到了同行業(yè)客戶的青睞，在MEMS微加工領(lǐng)域占據(jù)越來越多的市場(chǎng)份額。

中芯啟恒SU-8 2000系列光刻膠根據(jù)粘度不同，劃分為以下型號(hào)：


中芯啟恒SU-8 2000系列

單次旋涂膜厚范圍

SU-8 2005

2-8um

SU-8 2015

12-38um

SU-8 2025

20-80um

SU-8 2050

40-170um

SU-8 2075

60-240um

SU-8 2100

100-270um


備注：不同膜厚可通過調(diào)節(jié)勻膠機(jī)轉(zhuǎn)速獲得，因客戶實(shí)驗(yàn)設(shè)備不同，實(shí)際參數(shù)需進(jìn)行微調(diào)。


中芯啟恒SU-8-2000系列光刻膠使用I線365nm紫外曝光，可選設(shè)備Cchip-0019型光刻機(jī)，也可使用電子束或X射線輻照。光刻膠中的光引發(fā)劑吸收光子發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成一種強(qiáng)酸，作用是在中烘或后烘過程中作為酸催化劑促進(jìn)交聯(lián)反應(yīng)的發(fā)生，只有曝光區(qū)域的光刻膠中才有強(qiáng)酸。后烘過程中，曝光區(qū)域在強(qiáng)酸的催化作用下，分子發(fā)生交聯(lián)。 環(huán)氧交聯(lián)發(fā)生在曝光后的烘烤步驟；一般工藝流程為：旋涂、軟烘、曝光、中烘、顯影。后烘或硬烘可以提高圖案的分辨率或消除因應(yīng)力出現(xiàn)的裂紋，增加圖案與襯底的粘附力。

產(chǎn)品實(shí)物圖

產(chǎn)品實(shí)物圖

產(chǎn)品百科查看更多

英文名 Phenol, 4,4'-(1-methylethylidene)bis-, polymer with 2-aminoethanol and 2-(chloromethyl)oxirane
中文名 環(huán)氧樹脂
CAS號(hào) 38891-59-7 溶解性 ---
分子量 381.90092 熔點(diǎn) ---
密度 --- 沸點(diǎn) ---

商家信息

蘇州中芯啟恒科學(xué)儀器有限公司

營(yíng)業(yè)執(zhí)照已審核 企業(yè)已認(rèn)證

聯(lián)系人：張曉飛

號(hào)碼一： 180****

號(hào)碼二： ****

VIP企業(yè)默認(rèn)展示聯(lián)系方式，非VIP企業(yè)僅限注冊(cè)登錄用戶可見

  • 公司類型：研發(fā)型
  • 成立時(shí)間：2014-11-07
  • 所在地區(qū)：江蘇省蘇州市
  • 注冊(cè)資本：300萬元
推薦供應(yīng)商

產(chǎn)品：環(huán)氧樹脂

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