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光刻膠

CAS號	38891-59-7
規(guī)格	100ml/瓶	純度	請聯(lián)系客服
貨號	SU-8 2005-100	貨期	需咨詢
品牌	中芯啟恒	庫存	100瓶
規(guī)格	100ml/瓶
純度	請聯(lián)系客服
貨號	SU-8 2005-100
貨期	---
品牌	中芯啟恒
庫存	100瓶
注意：請務必與賣家聯(lián)系核實單價庫存，以確保您的資金安全及交易順利。
參考價：￥1.00 元/瓶

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貨號	品牌	純度	規(guī)格	參考價	貨期
SU-8 2005-100	中芯啟恒	請聯(lián)系客服	100ml/瓶	￥1.00元/瓶	---

產(chǎn)品詳情

詳細信息(中文)：
簡介：

中芯啟恒SU-8 2000系列光刻膠是負性光刻膠，采用環(huán)戊酮溶劑配制而成，在厚度膠膜涂布工藝中，圖案化的結構有較好的穩(wěn)定性和高分辨率，其膜厚范圍比任何其他市售光刻膠更廣泛，單次旋涂工藝膠膜厚度可選1-300um范圍，可根據(jù)需要進行多次旋涂，從而獲得更厚的膠膜。自2019年推出后，受到了同行業(yè)客戶的青睞，在MEMS微加工領域占據(jù)越來越多的市場份額。

中芯啟恒SU-8 2000系列光刻膠根據(jù)粘度不同，劃分為以下型號：

中芯啟恒SU-8 2000系列

單次旋涂膜厚范圍

SU-8 2005

2-8um

SU-8 2015

12-38um

SU-8 2025

20-80um

SU-8 2050

40-170um

SU-8 2075

60-240um

SU-8 2100

100-270um

備注：不同膜厚可通過調(diào)節(jié)勻膠機轉(zhuǎn)速獲得，因客戶實驗設備不同，實際參數(shù)需進行微調(diào)。

中芯啟恒SU-8-2000系列光刻膠使用I線365nm紫外曝光，可選設備Cchip-0019型光刻機，也可使用電子束或X射線輻照。光刻膠中的光引發(fā)劑吸收光子發(fā)生化學反應，生成一種強酸，作用是在中烘或后烘過程中作為酸催化劑促進交聯(lián)反應的發(fā)生，只有曝光區(qū)域的光刻膠中才有強酸。后烘過程中，曝光區(qū)域在強酸的催化作用下，分子發(fā)生交聯(lián)。環(huán)氧交聯(lián)發(fā)生在曝光后的烘烤步驟；一般工藝流程為：旋涂、軟烘、曝光、中烘、顯影。后烘或硬烘可以提高圖案的分辨率或消除因應力出現(xiàn)的裂紋，增加圖案與襯底的粘附力。

產(chǎn)品實物圖

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物理化學性質(zhì)
英文名	Phenol, 4,4'-(1-methylethylidene)bis-, polymer with 2-aminoethanol and 2-(chloromethyl)oxirane
中文名	環(huán)氧樹脂
CAS號	38891-59-7	溶解性	---
分子量	381.90092	熔點	---
密度	---	沸點	---

商家信息

蘇州中芯啟恒科學儀器有限公司

聯(lián)系人：張曉飛

號碼一： 180****

號碼二： ****

VIP企業(yè)默認展示聯(lián)系方式，非VIP企業(yè)僅限注冊登錄用戶可見

公司類型：研發(fā)型
成立時間：2014-11-07
所在地區(qū)：江蘇省蘇州市
注冊資本：300萬元

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產(chǎn)品：環(huán)氧樹脂

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