圖1 自行研制的qPlus型光耦合掃描探針顯微鏡商業(yè)化樣機(jī)。掃描探針顯微鏡（scanning probe microscopy, SPM）是納米科技領(lǐng)域最偉大的發(fā)明之一，其利用尖銳的針尖逐點(diǎn)掃描樣品，可在原子/分子/納米尺度上獲取表面的形貌和豐富的物性。掃描探針顯微鏡主要包括掃描隧道顯微鏡（scanning tunneling microscopy, STM, 1986年諾貝爾物理獎(jiǎng)）和原子力顯微鏡（atomic force microscopy, AFM, 2016年卡夫里獎(jiǎng)）。自其誕生以來(lái)，掃描探針顯微鏡已廣泛應(yīng)用于物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)和生物學(xué)等多個(gè)領(lǐng)域，改變了人類對(duì)物質(zhì)的研究范式和基礎(chǔ)認(rèn)知。由于技術(shù)受限和經(jīng)驗(yàn)缺乏，我國(guó)的高端掃描探針顯微鏡多年來(lái)一直嚴(yán)重依賴進(jìn)口。在這種被動(dòng)的局面下，江穎課題組十多年來(lái)一直致力于研發(fā)掃描探針顯微鏡的核心部件以及高分辨成像和譜學(xué)技術(shù)，不斷挑戰(zhàn)掃描探針技術(shù)的探測(cè)極限。尤其是成功研發(fā)出一套具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的基于qPlus傳感器的非侵?jǐn)_式掃描探針顯微術(shù)，該技術(shù)通過(guò)探測(cè)極其微弱的高階靜電力，刷新了掃描探針顯微鏡的空間分辨率，國(guó)際上首次實(shí)現(xiàn)了水分子中氫原子的直接成像，將水的微觀實(shí)驗(yàn)研究帶入一個(gè)全新的時(shí)代。圖2 自制qPlus型光耦合掃描探針顯微鏡的核心部件。A和B，光耦合掃描探頭的三維設(shè)計(jì)圖和實(shí)物圖。C，qPlus原子力傳感器。D，聚焦離子束刻蝕后的針尖。在關(guān)鍵技術(shù)獲得突破的基礎(chǔ)上，江穎課題組的程博偉博士和邊珂副研究員進(jìn)一步與劉開輝課題組緊密合作，成功搭建了一臺(tái)qPlus型光耦合掃描探針顯微鏡商業(yè)化樣機(jī)（專利1）。該設(shè)備兼容超高真空和低溫（液氦）環(huán)境，電路噪音背底低至5 fA/Hz1/2，針尖高度振動(dòng)噪音峰小于200 fm/Hz1/2，熱漂移小于0.1 pm/min，各項(xiàng)指標(biāo)達(dá)到國(guó)際最好水平。同時(shí)，該設(shè)備的qPlus傳感器具有極低的背底振幅噪音（~2 pm）和優(yōu)異的品質(zhì)因數(shù)（最高140000），達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。此外，該顯微鏡系統(tǒng)還具備獨(dú)特性設(shè)計(jì)，其掃描探頭上直接集成了可驅(qū)動(dòng)光學(xué)透鏡的三維納米定位器（專利2），大幅提升了光激發(fā)與光收集效率，避免了激光聚焦光斑的微抖動(dòng)問(wèn)題，使得該顯微鏡兼?zhèn)涫謨?yōu)異的光學(xué)兼容性，是研究多種分子和材料體系的結(jié)構(gòu)、化學(xué)成分及動(dòng)力學(xué)行為的理想工具。圖3 自制qPlus型光耦合掃描探針顯微鏡的原子力顯微成像測(cè)試結(jié)果。A，qPlus力傳感器頻率掃描曲線。B和D，不同針尖高度下Au(111)表面二維冰的恒高原子力顯微圖像（頻移圖）。C，二維冰表面不同位置的力譜。E和F，二維冰的原子結(jié)構(gòu)圖。最近，北京大學(xué)與國(guó)內(nèi)儀器公司就相關(guān)專利的轉(zhuǎn)讓簽訂了合同，涉及“一種基于qPlus的光耦合掃描探針顯微鏡”等兩項(xiàng)實(shí)用新型專利，正在積極推動(dòng)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高端掃描探針顯微鏡的國(guó)產(chǎn)化，有望打破長(zhǎng)期的國(guó)際壟斷局面。該設(shè)備的研發(fā)得到了國(guó)家自然科學(xué)基金委、科技部、教育部、中國(guó)科學(xué)院和北京市政府的經(jīng)費(fèi)支持。
相關(guān)論文：
Bowei Cheng, Da Wu, Ke Bian, Ye Tian, Chaoyu Guo, Kaihui Liu, Ying Jiang, A qPlus-based scanning probe microscope compatible with optical measurements. Review of Scientific Instruments 93, 043701 (2022).
(https://doi.org/10.1063/5.0082369)
相關(guān)專利：
[1] 江穎、程博偉、邊珂、吳達(dá)，一種基于qPlus的光耦合掃描探針顯微鏡，中國(guó)，202121333378.5，2021-09-03。
[2] 江穎、程博偉、吳達(dá)、邊珂，一種透鏡三維移動(dòng)裝置，中國(guó)，202120697032.7，2021-05-07。
參考資料：https://www.phy.pku.edu.cn/info/1031/8329.htm
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